歡迎來到深圳市中圖儀器股份有限公司網(wǎng)站！
咨詢電話：18928463988
SJ6000激光干涉儀平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。
平行度測量原理
平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調(diào)整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。
平行度測量配置
平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。
平行度測量應用
聯(lián)系人：羅健
地址：深圳市南山區(qū)西麗學苑大道1001號南山智園
郵箱：sales@chotest.com
傳真：86-755-83312849歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號了解更多信息
掃一掃微信掃一掃
