激光干涉儀可測量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量

　　

　　其主要功能包括：

　　定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量等，通過配合使用球桿儀，還能夠測量數(shù)控機床的回轉(zhuǎn)量，從而實現(xiàn)定位、校準、控制和補償。

　　

　　隨著智能制造技術(shù)的不斷深入，檢測成為了生產(chǎn)過程中越來越重要的一環(huán)，而位移測量是非常重要的一種檢測。通常而言，設(shè)備的檢測精度要達到加工精度的3倍以上，比方說要加工出3μm的精度，則檢測精度至少要1μm以下，因此位移測量系統(tǒng)成為智能制造設(shè)備的關(guān)鍵部件之一。

　　

　　原理及特點：

　　它可測量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量，比如位移、振動、速度、加速度、形變等等。

　　1、采用交流放大器，更穩(wěn)定，抗環(huán)境干擾力更強；

　　2、采用高倍電子細分，可達納米級分辨率；

　　3、采用光纖傳輸，裝調(diào)更便捷，更容易實現(xiàn)多軸同步測量；

　　4、最大測量速度可達5m/s；

　　5、具備網(wǎng)口、USB口及ABZ正交編碼等輸出。

　　

　　目前常用的位移測量系統(tǒng)有光柵、容柵、磁柵、激光干涉儀等，其中以激光干涉儀的精度最高，是微納位移測量的*。按照技術(shù)路線不同，激光干涉儀可分為單頻激光干涉儀和激光干涉儀；按結(jié)構(gòu)不同，也可分為傳統(tǒng)激光干涉儀（空間光傳輸）和光纖激光干涉儀。