中圖儀器SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度儀基于白光干涉原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

中圖儀器VT6000轉盤共聚焦光學顯微鏡系統基于光學共軛共焦原理，以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統。主要采用3D捕獲的成像技術，它通過數碼相機針孔的高強度激光來實現數字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力。

中圖儀器NS系列觸控面板薄膜厚度測量臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在薄膜厚度的測量上具有很強的優勢。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉膜厚儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器VT6000材料領域高分辨率共聚焦測量顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測，對大坡度的產品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

中圖儀器NS系列探針式臺階儀輪廓粗糙度表面檢測儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，是一種接觸式表面形貌測量儀器。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。