激光干涉儀精密測量儀器

SJ6000激光干涉儀精密測量儀器的測量軟件可以將線性測量結果生成的誤差補償表，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時，采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點。

產品參數

產品型號：SJ6000

產品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩頻方式：激光熱穩頻

穩頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動態采集頻率：50KHz

預熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%

主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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SJ6000激光干涉儀精密測量儀器結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下，還可以實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。