光柵尺測長機

中圖儀器SJ5100系列光柵尺測長機具有高精度、高速度、非接觸式測量等優(yōu)點，是利用光柵的干涉作用，通過光電檢測器將光信號轉(zhuǎn)化為電信號，并經(jīng)過計算得出被測物體的尺寸。廣泛應(yīng)用于機械加工、電子制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)等領(lǐng)域，常用于工業(yè)生產(chǎn)中對物體長度、角度和位置等參數(shù)的精確測量。其測量精度通常可達到亞微米級別，可以滿足大多數(shù)工業(yè)生產(chǎn)對尺寸精度的要求。

產(chǎn)品描述

采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精密研磨直線導(dǎo)軌、高精度溫度補償系統(tǒng)、雙向恒測力系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種長度參數(shù)的高精度測量。通過高精密研磨導(dǎo)軌保證測量頭座移動的高穩(wěn)定性及超高直線度，采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)記錄長度方向坐標(biāo)，由計算機將光柵數(shù)據(jù)與測力裝置、溫度傳感器的反饋數(shù)據(jù)及阿貝誤差數(shù)據(jù)修正后進行數(shù)據(jù)合成（由于導(dǎo)軌較高的直線度，因此阿貝修正造成的儀器誤差小）。按被測件參數(shù)的相關(guān)定義及公式進行分析，計算獲得相關(guān)長度參數(shù)。

操作者裝好被測件，在檢測軟件上選擇被測件的標(biāo)準(zhǔn)和輸入被測件的規(guī)格參數(shù)后，移動頭座接觸被測件，調(diào)整五軸工作臺找到拐點，采樣完成得到測量數(shù)據(jù)，系統(tǒng)可實時顯示測量結(jié)果，自動計算被測件各項參數(shù)（如檢測螺紋規(guī)，則可自動計算螺紋中徑），并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫對被測件的各項參數(shù)進行合格判定，整個測量過程不超過3分鐘，結(jié)束后自動生成結(jié)果及記錄報表。

儀器主要功能

1.標(biāo)配功能：

檢測量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；

光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；

螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）

螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；

光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm

千分尺校對桿：25~300mm；

塞尺：0.02~1mm

針規(guī)：φ0.1~φ10mm

三針：0.118~6.585mm；

兩點內(nèi)徑千分尺：25~300mm；

2.可選配功能：

小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；

螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；

光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；

光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；

螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；

螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；

鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；

花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標(biāo)準(zhǔn)齒輪（跨棒距測量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；

外徑千分尺示值誤差手動校準(zhǔn)：25~300mm；

數(shù)顯及游標(biāo)卡尺示值誤差手動校準(zhǔn)：75~300mm；

深度千分尺示值誤差手動校準(zhǔn)：0~25、25~50、50~75mm；

三爪內(nèi)徑千分尺手動校準(zhǔn)：φ6~φ200mm；

表類（百分表、千分表、杠桿表手動校準(zhǔn)）；

數(shù)顯半徑規(guī)手動校準(zhǔn)：R5~R700mm；

軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測量；

主要技術(shù)指標(biāo)

性能特點

1.全程直接測量：

SJ5100系列光柵尺測長機采用進口高精度長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進行高精度全行程直接測量。

2.高精度、高穩(wěn)定性：

1)高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達到0.01μm，測量精度高；

2)精密研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)導(dǎo)軌直線度高，材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；

3)進口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的高精度真實采集；

4)采用大理石基座，通過有限元分析優(yōu)化儀器基座結(jié)構(gòu)保障幾十年穩(wěn)定不變形，高剛性大理石底座結(jié)構(gòu)保證了儀器在頭座及工作臺在測量移動過程中幾乎不產(chǎn)生變形，儀器受外界震動干擾小，保證儀器的長期穩(wěn)定可靠性；

5)采用緊湊型摩擦驅(qū)動結(jié)構(gòu)，移動摩擦驅(qū)動力小，保證了頭座移動過程中的穩(wěn)定性。

3.雙向恒測力：

1) 特殊傳感器雙向恒測力系統(tǒng)，減小了測力對測量結(jié)果的影響，保證了高的系統(tǒng)測量精度；

2) 測力較大范圍的連續(xù)可調(diào)；

3) 非砝碼加載，測力傳感器原理避免了儀器臺面不水平及周圍環(huán)境振動帶來的測力誤差。