高精度環(huán)境補償激光干涉儀

中圖儀器SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償。儀器配備的EC20環(huán)境補償單元，由環(huán)境補償主機（內置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成，可實現(xiàn)對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。

SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

產品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

測量案例

SJ6000激光干涉儀為機床機定位誤差（螺距補償）、反向間隙修正提供依據(jù)。操作人員通過定每個機床軸的補償值來消除機床定位系統(tǒng)中的定位誤差。后期通過對機床軸的補償，可以將誤差降低到幾乎為零的程度，大大提高機床作業(yè)精度。補償時需要先獲得正確的誤差補償值，操作人員需在軸上的不同點測量機床的預期位置和實際位置之間的微小差異。

進行重復定位測量前，需要使用附件里的兩個外加螺絲將其中一個線性反射鏡安裝在分光鏡上，這個組合裝置稱為“線性干涉鏡"。線性干涉鏡放置在激光器和線性反射鏡之間的光路上，用它的反射光線形成激光光束的參考光路。另一束光通過分光鏡入射到線性反射鏡，通過線性反射鏡的移動來實現(xiàn)線性定位測量。

使用激光干涉儀測量定位誤差，并用檢定軟件進行記錄，可以輕松獲取軸上多點測量的誤差表。這些誤差能夠被轉譯成補償值，在相應機床控制器軟件位置進行補償值的寫入，實現(xiàn)機床的定位誤差補償（螺距補償）、反向間隙補償。

對數(shù)控機床進行螺距誤差補償

EC20環(huán)境補償單元

EC20環(huán)境補償單元在出廠前，會依照相關計量標準對各環(huán)境參量進行精確校準，通常情況下建議24個月校準一次。

在使用EC20環(huán)境補償單元過程中，在不影響測量光路和被測物體運動的前提下，建議將環(huán)境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。至于材料溫度探頭該如何布置或應用，則需分不同的測量場合與不同的被測對象。

環(huán)境補償單元技術指標

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

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