SuperViewW1白光干涉三維光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖白光干涉儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

W系列白光干涉儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。

白光干涉顯微測量儀，非接觸、三維白光掃描干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

一鍵批量分析白光干涉測頭,是一款非接觸式精密光學(xué)測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點(diǎn)

白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀